Nanosurf AFM 工作原理
反射光点、悬臂梁偏转与灵敏度标定
核对日期：2026-10-24
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产品/装置微继电器样件
测量路线TRI · 点激光三角位移
能力分级部分可复用
验证状态未进行该场景实机/产品域验收
场景性质：激光光点同类候选应用。候选应用，尚未开发成完整产品系统；未进行该场景实机/产品域验收。目录统计中的产品实机/产品域验收数量为0。
业务任务与拟输出
- 目标对象
- 微继电器样件：点激光三角位移
- 拟输出
- 动作终点与回位性
- 适用条件
- 触点电阻另测
- 优先级
- 常规扩展。需按所列光学条件、标定及样件完成验证
成像输入与算法路线
成像与装置条件
固定激光发射轴和接收相机基线，目标表面能形成可分离光点。显微聚焦入射光、反射接收与独立驱动参考
TRI · 点激光三角位移
固定激光发射轴和接收相机基线，目标表面能形成可分离光点
- A97加权最小二乘线性标定
- A100一阶灵敏度不确定度传播
- A101自适应阈值激光点灰度质心
- A103对数二次曲面亚像素光点中心
- A107激光点质量与可用性诊断
现有算法证据：A101–A112只完成解析合成光斑与受控几何验证；参见laser_spot_benchmark.json
现有能力与待补能力
部分可复用
需补标定、同步或集成
可复用光点检测前端或时序统计模块，但项目仍需增加几何标定、时间同步、运动补偿或设备系统集成。
本场景缺口：需新增点激光射线求交或一维非线性距离标定适配；A97仅线性区，A21为激光平面接口。触点电阻另测。相机只覆盖其采样与曝光支持的频带
路线级缺口：需新增点激光射线求交或一维非线性距离标定适配；A97仅线性区，A21为激光平面接口
“部分可复用”只描述相对开发量，不构成精度、节拍、稳定性或交付周期承诺。
验证方法与验收前提
使用量块和位移台覆盖量程与表面条件，独立报告物理误差、重复性及散斑影响。独立角度/位移仪和驱动扫频对照
| 验收项 | 项目需确认的证据 | 当前状态 |
|---|---|---|
| 输入与样本 | 真实设备原始帧、正常/异常样本、曝光与光路条件、样本分组及留出集 | 未提供，待项目输入 |
| 量值与误差 | 独立参考量值、标定记录、误差统计口径及双方确认阈值 | 未验证 |
| 异常与边界 | 漏检、误检、过曝、遮挡、反光、出视场和通信异常的预期处理 | 待定义 |
| 系统集成 | 接口、时间同步、部署平台、节拍、日志、版本和连续运行记录 | 未集成 |
证据来源与引用边界
来源支持测量原理或同类应用；本场景的模块组合、装置与验收方法为工程推导，未完成产品验证
Newport 快反镜与主动光束稳定技术
位置漂移、指向漂移及主动补偿的系统原理
核对日期：2026-10-24
查看原始公开资料 →来源使用范围：公开资料用于支持测量原理或同类应用存在性，不证明本场景已由极视科技完成开发、部署或验收。
项目咨询
xuzhiyang0928@gmail.com
提交样本与设备条件，明确开发与交付范围
开闭动作的光学位移观测
请说明任务对象、原始图片或视频、目标指标、设备平台、接口和样本情况。
电话：13910119357xuzhiyang0928@gmail.com