Micro-Epsilon 雷射三角測量原理
發射、接收成像與標定後的距離測量
核對日期：2026-10-24
看原始公開資料 →項目判斷摘要
產品/裝置晶圓搬運夾具
測量路線TRI · 點雷射三角位移
能力分級部分可複用
驗證狀態未進行該場景實機/產品域驗收
場景性質：雷射光點同類潛在應用場景。潛在應用場景，尚未開發成完整產品系統；未進行該場景實機/產品域驗收。目錄統計中的產品實機/產品域驗收數量為0。
業務任務與擬輸出
- 目標對象
- 晶圓搬運夾具：點雷射三角位移
- 擬輸出
- 支承點高差
- 適用條件
- 正式平面度評估核心需另加
- 優先權
- 常規擴展。需依所列光學條件、標定及樣件完成驗證
成像輸入與演算法路線
成像與裝置條件
固定雷射發射軸和接收相機基線，目標表面能形成可分離光點。固定基線點雷射接收頭和標定Z平台
TRI · 點雷射三角位移
固定雷射發射軸和接收相機基線，目標表面能形成可分離光點
- A97加權最小平方法線性標定
- A100一階靈敏度不確定度傳播
- A101自適應閾值雷射點灰階質心
- A103對數二次曲面亞像素光點中心
- A107雷射點品質與可用性診斷
現有演算法證據：A101–A112只完成解析合成光點與受控幾何驗證；參見laser_spot_benchmark.json
現有能力與待補能力
部分可複用
需補標定、同步或集成
可重複使用光點偵測前端或時序統計模組，但專案仍需增加幾何標定、時間同步、運動補償或設備系統整合。
本場景缺口：需新增點雷射射線求交或一維非線性距離標定適配；A97僅線性區，A21為雷射平面介面。正式平面度評估核心需另加。實機表面反光與微小量程決定能否採到有效點
路線級缺口：需新增點雷射射線求交或一維非線性距離標定適配；A97僅線性區，A21為雷射平面介面
「部分可重複使用」只描述相對開發量，不構成精確度、節拍、穩定性或交付週期承諾。
驗證方法與驗收前提
使用量塊及位移台覆蓋量程與表麵條件，獨立報告物理誤差、重複性及散斑影響。量塊、顯微高度計及獨立組裝樣件對照
| 驗收項 | 項目需確認的證據 | 目前狀態 |
|---|---|---|
| 輸入與樣本 | 真實設備原始影格、正常/異常樣本、曝光與光路條件、樣本分組及留出集 | 未提供，待項目輸入 |
| 量值與誤差 | 獨立參考量值、標定記錄、誤差統計口徑及雙方確認閾值 | 未驗證 |
| 異常與邊界 | 漏檢、誤檢、過曝、遮蔽、反光、出視場和通訊異常的預期處理 | 待定義 |
| 系統整合 | 介面、時間同步、部署平台、節拍、日誌、版本和連續運行記錄 | 未集成 |
證據來源與引用邊界
來源支援測量原理或同類應用；本場景的模組組合、裝置與驗收方法為工程推導，未完成產品驗證
Micro-Epsilon 位移应用
工業高度、距離和位置測量類別
核對日期：2026-10-24
看原始公開資料 →NIST 三維成像技術說明
主動點三角測量、掃描幾何和誤差傳播
核對日期：2026-10-24
看原始公開資料 →來源使用範圍：公開資料用於支援測量原理或同類應用存在性，不證明本場景已由極視科技完成開發、部署或驗收。
專案諮詢
xuzhiyang0928@gmail.com
提交樣本與設備條件，明確開發與交付範圍
夾具支承面的高度一致性檢查
請說明任務物件、原始圖片或影片、目標指標、裝置平台、介面和樣本情況。
電話：13910119357xuzhiyang0928@gmail.com