การตรวจสอบพื้นผิวรองรับฟิกซ์เจอร์มีความสม่ำเสมอสูง

สรุปการตัดสินโครงการ

งานทางธุรกิจและผลลัพธ์ที่ตั้งใจไว้

กลุ่มเป้าหมาย

อุปกรณ์จับยึดเวเฟอร์: การกระจัดสามเหลี่ยมด้วยเลเซอร์พอยต์

เอาท์พุทหลอก

รองรับความแตกต่างของความสูงของจุด

เงื่อนไขที่บังคับใช้

จำเป็นต้องเพิ่มแกนการประเมินความเรียบอย่างเป็นทางการ

ลำดับความสำคัญ

ส่วนขยายทั่วไป. การยืนยันจะต้องเสร็จสิ้นตามเงื่อนไขการมองเห็น การสอบเทียบ และตัวอย่างที่ระบุไว้

อินพุตภาพและการกำหนดเส้นทางอัลกอริทึม

สภาพภาพและอุปกรณ์

ด้วยการติดตั้งแกนปล่อยเลเซอร์และเส้นฐานของกล้องรับ จุดแสงที่แยกออกจากกันจึงอาจเกิดขึ้นบนพื้นผิวเป้าหมายได้ หัวรับเลเซอร์จุดพื้นฐานคงที่และแท่น Z สำหรับการสอบเทียบ

TRI·การกระจัดสามเหลี่ยมด้วยเลเซอร์แบบพอยต์

ด้วยการแก้ไขแกนการปล่อยเลเซอร์และเส้นฐานของกล้องรับ พื้นผิวเป้าหมายจะสามารถสร้างจุดแสงที่แยกออกจากกันได้

• A97การสอบเทียบเชิงเส้นกำลังสองน้อยที่สุดแบบถ่วงน้ำหนัก
• A100การแพร่กระจายความไม่แน่นอนของความไวลำดับที่หนึ่ง
• A101จุดเลเซอร์จุดศูนย์กลางแบบปรับได้ระดับสีเทาเซนทรอยด์
• A103จุดศูนย์กลางพิกเซลย่อยของพื้นผิวกำลังสองแบบลอการิทึม
• A107การวินิจฉัยคุณภาพจุดเลเซอร์และการใช้งาน

หลักฐานอัลกอริทึมที่มีอยู่:A101–A112 ทำได้เฉพาะจุดการสังเคราะห์เชิงวิเคราะห์และการตรวจสอบเรขาคณิตแบบควบคุมเท่านั้น ดูที่ laser_spot_benchmark.json

ความสามารถและความสามารถในปัจจุบันที่จะเสริม

ช่องว่างในฉากนี้:จำเป็นต้องเพิ่มจุดตัดรังสีเลเซอร์แบบจุดหรือการปรับเทียบระยะห่างแบบไม่เชิงเส้นหนึ่งมิติ A97 มีเพียงพื้นที่เชิงเส้น และ A21 เป็นส่วนต่อประสานระนาบเลเซอร์ จำเป็นต้องเพิ่มแกนการประเมินความเรียบอย่างเป็นทางการ การสะท้อนพื้นผิวของเครื่องจริงและช่วงการวัดขนาดเล็กจะกำหนดว่าสามารถรวบรวมจุดที่มีประสิทธิภาพได้หรือไม่

ช่องว่างระดับเส้นทาง:จำเป็นต้องเพิ่มจุดตัดรังสีเลเซอร์แบบจุดหรือการปรับเทียบระยะห่างแบบไม่เชิงเส้นหนึ่งมิติ A97 อยู่ในพื้นที่เชิงเส้นเท่านั้น และ A21 เป็นส่วนต่อประสานระนาบเลเซอร์

"ใช้ซ้ำได้บางส่วน" อธิบายเฉพาะปริมาณการพัฒนาที่สัมพันธ์กันเท่านั้น และไม่ถือเป็นความมุ่งมั่นต่อความแม่นยำ จังหวะ ความเสถียร หรือเวลาในการจัดส่ง

วิธีการตรวจสอบและข้อกำหนดเบื้องต้นในการยอมรับ

ใช้เกจบล็อกและสเตจเพื่อให้ครอบคลุมช่วงและสภาพพื้นผิว และรายงานข้อผิดพลาดทางกายภาพ ความสามารถในการทำซ้ำ และเอฟเฟกต์จุดอย่างอิสระ เกจบล็อก เกจวัดความสูงด้วยกล้องจุลทรรศน์ และการเปรียบเทียบตัวอย่างการประกอบอิสระ

แหล่งหลักฐานและขอบเขตการอ้างอิง

แหล่งที่มารองรับหลักการวัดหรือการใช้งานที่คล้ายกัน การรวมโมดูล อุปกรณ์ และวิธีการยอมรับในสถานการณ์นี้เป็นที่มาทางวิศวกรรม และการตรวจสอบผลิตภัณฑ์ยังไม่เสร็จสมบูรณ์

การใช้งานที่เป็นไปได้อื่นๆ สำหรับความสูงของชุดอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์