LSP089Es muss ein neuer Kern hinzugefügt werden
Schrittachse · Punktabtastung der dreidimensionalen Topographie
Stufenhöhenunterschied und Grenzkandidaten
- Identität
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Sonderentwicklung:Der Mess-/Regelungskern muss entsprechend der Sonderprojektgenehmigung ergänzt und verifiziert werden
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LSP090Teilweise wiederverwendbar
Lagerringe · Lichtpunkt-Timing und Drift
Winkelsynchrone Verschiebungskurve
- Identität
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Allgemeine Erweiterungen:Die Verifizierung muss gemäß den aufgeführten optischen Bedingungen, Kalibrierungen und Proben durchgeführt werden.
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LSP091Teilweise wiederverwendbar
Präzisionsdichtung · Bilaterale/Referenzflächen-Differenzmessung
Probenahme der Dickenverteilung
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Allgemeine Erweiterungen:Die Verifizierung muss gemäß den aufgeführten optischen Bedingungen, Kalibrierungen und Proben durchgeführt werden.
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LSP092Teilweise wiederverwendbar
Spule · Punktlaser mit dreieckiger Verschiebung
Verschiebungskurve und Rücklaufdifferenz
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Allgemeine Erweiterungen:Die Verifizierung muss gemäß den aufgeführten optischen Bedingungen, Kalibrierungen und Proben durchgeführt werden.
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LSP093Teilweise wiederverwendbar
Positionierungssäule · Punktlaser-Dreiecksverschiebung
Erweiterter Höhenunterschied
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Allgemeine Erweiterungen:Die Verifizierung muss gemäß den aufgeführten optischen Bedingungen, Kalibrierungen und Proben durchgeführt werden.
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LSP094Es muss ein neuer Kern hinzugefügt werden
Mechanischer Dichtungsring · Punktabtastung der dreidimensionalen Topographie
Lokale Z-Kontur
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Sonderentwicklung:Der Mess-/Regelungskern muss entsprechend der Sonderprojektgenehmigung ergänzt und verifiziert werden
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LSP095Teilweise wiederverwendbar
Ausrüstungsprobe · Lichtpunkt-Timing und Drift
Entsprechende Verschiebung der Zahnfolge
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Allgemeine Erweiterungen:Die Verifizierung muss gemäß den aufgeführten optischen Bedingungen, Kalibrierungen und Proben durchgeführt werden.
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LSP096Teilweise wiederverwendbar
Präzisionselastisches Stück·Punktlaser-Dreiecksverschiebung
Lastrücklaufverschiebung und Hysterese
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Allgemeine Erweiterungen:Die Verifizierung muss gemäß den aufgeführten optischen Bedingungen, Kalibrierungen und Proben durchgeführt werden.
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