قياس سمك الحشية المرشحة قبل وبعد تركيب الضغط

ملخص حكم المشروع

مهام العمل والمخرجات المقصودة

الجمهور المستهدف

مجموعة الوسادة الحرارية: القياس التفاضلي للسطح الثنائي/المرجعي

الإخراج الزائف

مرجع سمك السطح التفاضلي

الشروط المطبقة

يجب تسجيل انتعاش الضغط وصفحة حرب الركيزة في وقت واحد

أولوية

تمديد عام. يجب إكمال التحقق وفقًا للشروط البصرية والمعايرة والعينات المذكورة.

إدخال التصوير وتوجيه الخوارزمية

التصوير وظروف الجهاز

رؤوس إزاحة نقطية ثنائية متزامنة، أو رأس واحد مع مستوى مرجعي مستقر معروف. رأس استقبال الليزر بنقطة أساسية ثابتة ومنصة Z للمعايرة

سميك · قياس تفاضلي للسطح الثنائي/المرجعي

رؤوس إزاحة نقطية ثنائية متزامنة، أو رأس واحد بسطح مرجعي مستقر معروف

• A97المعايرة الخطية للمربعات الصغرى المرجحة
• A100انتشار عدم اليقين من الحساسية من الدرجة الأولى
• A101نقطة الليزر ذات العتبة التكيفية ذات التدرج الرمادي
• A103مركز بقعة البكسل الفرعي للسطح التربيعي اللوغاريتمي
• A107تشخيص جودة بقعة الليزر وسهولة الاستخدام

الأدلة الخوارزمية الموجودة:A101 – A112 يكمل فقط نقطة التوليف التحليلي والتحقق الهندسي المتحكم فيه؛ راجع Laser_spot_benchmark.json

القدرات الحالية والقدرات التي يتعين استكمالها

الثغرات في هذا السيناريو:يلزم معايرة مسافة الليزر النقطية والعلاقة الخطية المتداخلة/المزامنة ونماذج التباعد المرجعية على كلا الجانبين؛ ارتفاع نقطة واحدة لا يساوي سمكها مباشرة. يجب تسجيل انتعاش الضغط وصفحة حرب الركيزة في وقت واحد. يحدد الانعكاس السطحي للآلة الفعلية ونطاق القياس الصغير ما إذا كان من الممكن جمع النقطة الفعالة.

الفجوات على مستوى المسار:يلزم معايرة مسافة الليزر النقطية والعلاقة الخطية المتداخلة/المزامنة ونماذج التباعد المرجعية على كلا الجانبين؛ ارتفاع نقطة واحدة لا يساوي سمكها مباشرة

"قابل لإعادة الاستخدام جزئيًا" يصف فقط حجم التطوير النسبي ولا يشكل التزامًا بالدقة أو الإيقاع أو الاستقرار أو وقت التسليم.

طرق التحقق وشروط القبول

استخدم الشرائح السميكة القياسية والعينات الملتوية للمقارنة، وقم بتغيير زاوية الميل ومرحلة الحركة للتحقق من الخطأ التفاضلي. كتلة القياس ومقياس الارتفاع المجهري ومقارنة عينة التجميع المستقلة

مصادر الأدلة وحدود الاقتباس

المصدر يدعم مبادئ القياس أو تطبيقات مماثلة؛ إن مجموعة الوحدة والجهاز وطريقة القبول في هذا السيناريو هي اشتقاق هندسي، ولم يتم إكمال التحقق من المنتج.

التطبيقات المحتملة الأخرى لارتفاعات تجميع الإلكترونيات وأشباه الموصلات